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高純氣體氧氣可用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積

2020-10-12 13:41:40

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高純氣體

　 高純氣體氧氣用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積，作為氧化源和生產(chǎn)高純水的試劑，干氧化與四氟化碳混合用于等離子體蝕刻。應(yīng)注意安全，并應(yīng)做好防震，防火，耐熱和防油等工作。

高純氣體氧氣通常只需要氧氣純度，而對(duì)其他衛(wèi)生條件沒(méi)有特殊要求。同時(shí)，它還包含有害氣體，例如一氧化碳，甲烷，濕氣，細(xì)菌和灰塵。工業(yè)氧氣主要用于焊接和氣焊、氣割等。

　　高純氣體氦氣在運(yùn)輸儲(chǔ)存、使用時(shí)都應(yīng)分類堆放，不準(zhǔn)靠近明火和熱源，應(yīng)做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊，嚴(yán)禁在氣瓶身上進(jìn)行引弧或電弧，嚴(yán)禁野蠻裝卸，短距離移動(dòng)氦氣鋼瓶應(yīng)使用鋼瓶專用手推車，長(zhǎng)距離移動(dòng)鋼瓶應(yīng)用危險(xiǎn)品運(yùn)輸車輛運(yùn)輸。

　　工業(yè)高純氧氣是用于工業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品加工的氣體。低質(zhì)量要求通常要求純度達(dá)到99％或更高。填充程序不如醫(yī)用氧氣嚴(yán)格。水和其他雜質(zhì)經(jīng)?；烊氩⒈Ａ粼谘鯕馄康难鯕馄恐??；烊氩埩粼阡撈恐械乃畬?dǎo)致氧氣瓶的內(nèi)壁生銹，這將導(dǎo)致瓶中的氣體產(chǎn)生異味。