隨著我國(guó)半導(dǎo)體、制芯業(yè)的發(fā)展,高純氣體管道的應(yīng)用也越來越廣,像半導(dǎo)體、電子、醫(yī)藥、食品等行業(yè)都是不同程度的使用了,因此它的施工對(duì)于我們來說也越來越重要。
高純氣體管道的現(xiàn)場(chǎng)安裝應(yīng)整潔干凈,安裝人員定要戴潔凈手套。支架設(shè)置距離應(yīng)符合圖紙?jiān)O(shè)計(jì)要求,每個(gè)固定的點(diǎn)都套上EP管的橡膠套。預(yù)制好的管子運(yùn)到現(xiàn)場(chǎng),不能磕碰踩踏,不能直接放到地面上,擔(dān)上支架后,上管卡。
高純氣體管道按其流通介質(zhì)的工藝要求一般采用薄壁不銹鋼管,通常采用316L(00Cr17Ni14Mo2)。主要有鉻、鎳、鉬三種合金元素,鉻的存在上升了不銹鋼在氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性,形成一層富鉻氧化膜;而鉬的存在則上升了不銹鋼在非氧化性介質(zhì)中的耐腐蝕性;鎳是奧氏體的形成元素,它們的存在既上升了鋼的耐腐蝕性,又上升了鋼的工藝性能。
生產(chǎn)廠家一般都是將其壓入鋼瓶或玻璃鋼瓶中,并用清潔氣體稀釋成一定濃度,作為商品出售。在生產(chǎn)車間或?qū)嶒?yàn)室中可用玻璃容器、塑料袋或注射器臨時(shí)保存。被貯存的氣體不能與容器發(fā)生化學(xué)作用,也不能通過器壁或縫隙漏掉。
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