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對不同性質的高純氣體，要規(guī)劃一個獨立的供氣區(qū)，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/有毒性氣體、可燃性氣體、惰性氣體區(qū)域，將同一天然氣濃度加強管理和可燃氣體區(qū)，以專門規(guī)劃爆破墻和滲漏，如果空間不足，可以考慮。放置惰性氣體和有毒腐蝕性氣體區(qū)域。
應減少不流動氣體在管道中的“死區(qū)”，且不應是盲管，在專用儲氣罐和氣體設備之間應設置吹掃閥控制裝置和控制裝置，用于控制吹掃閥的開關順序和系統(tǒng)，以保證供氣系統(tǒng)的安全，可靠運行，防止“死區(qū)”滯留污染物形成，降低氣體純度。
安裝高純氣體輸氣管道時，輸氣管道的高度，水平管道的曲率和垂直管道的垂直度應符合設計或規(guī)范的要求。水平面的傾斜方向和傾斜尺寸必須符合設計要求。如果沒有具體的設計要求，應確定青島天然氣管道的傾斜方向，以便排水，排水和排風。
為了檢測高純氣體的純度和雜質含量，輸送系統(tǒng)除應配備必要的連續(xù)檢測儀器外，如水或氧雜質含量測定儀等，還應設置定期采樣的檢測取樣口，以便在規(guī)定的時間取樣，分析高純氣體中各種雜質的含量。
