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包裝：采用40L、44L、47L鋼瓶充裝，也可根據(jù)客戶需要，分裝到8—10L的氣瓶中。技術(shù)指標(biāo)：見附表用途：用于晶圓清洗、在CVD過(guò)程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜理化性質(zhì):通常為無(wú)色有強(qiáng)烈刺激性氣味，常溫
