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高純氣體(HighPurityGases)氣體是工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氫，氮，氦，氬而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對(duì)于氧氣，純度為
