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標準氣體
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玉林高純液氨

玉林高純液氨

  • 所屬分類:玉林高純氣體
  • 瀏覽次數:
  • 發(fā)布日期:2020-05-21 15:00:28
  • 產品概述
  • 性能特點
  • 技術參數

高純氣體

高純氣體

包裝:采用40L、44L、47L鋼瓶充裝,也可根據客戶需要,分裝到8—10L的氣瓶中。 

技術指標:見附表

 


用途:用于晶圓清洗、在CVD過程中生成氮化硅或氮化鎵等薄膜


 


理化性質: 通常為無色有強烈刺激性氣味,常溫下加壓可液化,臨界溫度132.9℃,臨界壓力11.38MPa,常壓下冷卻到-33.35℃時液化。液氨揮發(fā)性很強,氣化時吸熱很大,在-77.75℃時凝固成無色結晶。氨極易溶于水,并放出熱量。氨的水溶液稱為氨水,呈弱堿性,易揮發(fā)。自燃點630℃,在空氣中遇火能爆炸。


常溫、常壓下在空氣中的爆炸極限為16%~28%(體積)。


 


注意事項:


1、工作時應選用耐腐蝕的工作服、防堿手套、眼鏡、膠鞋、用硫酸銅或硫酸鋅防毒口罩,防毒口罩應定期檢查,以防失效。


2、在使用氨水作業(yè)時,應在作業(yè)者身旁放一盆清水,以防萬一;在氨水運輸過程中,應隨身攜帶2~3只盛滿3%硼酸液的水壺,以備急救沖洗;配制一定濃度氨水時,應戴上風鏡;使用氨水時,作業(yè)者應在上風處,防止氨氣刺激面部;操作時要嚴禁用手揉擦眼睛,操作后洗凈雙手。


3、配備良好的通風排氣設施、合適的防爆、滅火裝置。


4、工作場所禁止飲食、吸煙、禁止明火、火花。


5、應急救援時,必須佩帶空氣呼吸器。


6、發(fā)生泄漏時,將泄漏鋼瓶的滲口朝上,防止液態(tài)氨溢出。


7、加強生產過程的密閉化和自動化,防止跑、冒、滴、漏。


8、使用、運輸和貯存時應注意安全,防止容器破裂和冒氣。


9、現場安裝氨氣監(jiān)測儀及時報警發(fā)現。


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