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高純氣體(High Purity Gases)氣體是工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氫，氮，氦，氬而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99199%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領(lǐng)域極寬，在半導體工業(yè)，高純氮，氫，氬，氦可作為運載氣，保護氣和配制混合氣的底氣。
