高純氣體(High Purity Gases)氣體是工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對于氫,氮,氦,氬而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對于氧氣,純度為99.199%即可稱高純氧;對于碳?xì)浠衔铮兌葹?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮,氫,氬,氦可作為運載氣,保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。
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