高純氣體(PurifiedGases)氣體工業(yè)術(shù)語(yǔ)，通常是指利用現(xiàn)代凈化技術(shù)可以達(dá)到某一等級(jí)純度的氣體。純氣體(HighPurityGases)通常是指利用現(xiàn)代凈化技術(shù)可以達(dá)到的一定等級(jí)純度的氣體。對(duì)于不同類型的氣體，純度指標(biāo)不同，如氮、氫、氬、氦，通常指純度等于或高于99.99%的高純度氣體；對(duì)于氧氣，純度為99.99%可稱為高純度氧；對(duì)于碳?xì)浠衔铮兌葹?9.99%的可視為高純度氣體。在半導(dǎo)體工業(yè)中，高純氮、氫、氬、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣；高純氣體可作為制備混合物的信心。根據(jù)不同的分子結(jié)構(gòu)，高純氣體可分為有機(jī)高純氣體和無(wú)機(jī)高純氣體。

標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定性研究如下：影響穩(wěn)定性的因素與容器的材料特性、容器內(nèi)壁的預(yù)處理、氣體本身的化學(xué)特性和使用條件密切相關(guān)。容器選擇盛裝標(biāo)準(zhǔn)氣體的容器應(yīng)由耐腐蝕、抗壓、吸附少、不生銹、化學(xué)特性穩(wěn)定、機(jī)械強(qiáng)度高的材料制成,通常使用的高壓容器是鋁合金瓶,而碳鋼瓶因其內(nèi)壁不光滑、吸附大而被逐步淘汰。使用標(biāo)準(zhǔn)氣體鋼瓶前，應(yīng)進(jìn)行表面清潔和油漆處理，然后將鋼瓶加熱至100℃左右，抽真空處理約4h。鋼瓶處理完畢后,必須分析其H2O、O2等雜質(zhì)含量,合格后方可使用。氣體要求，準(zhǔn)備10%的CH4/Ar四瓶，進(jìn)行為期一年的穩(wěn)定性調(diào)查。由于鋁合金鋼瓶?jī)?nèi)壁光滑，一般永 久氣體時(shí)性質(zhì)穩(wěn)定，變化不大。鋼瓶可以滿足此類標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定性的要求，無(wú)需特殊處理。