急性中毒時(shí)，輕者出現(xiàn)頭痛、頭昏、惡心、眼痛、咳嗽、痰中帶血、聲音嘶啞、呼吸困難、胸悶、胸痛等癥狀，重者發(fā)生肺炎、肺水腫、肺不張，眼角膜可見潰瘍或混濁。皮膚直接接觸可出現(xiàn)大量粟粒樣紅色小丘疹而呈潮紅痛熱。慢性影響使長(zhǎng)期較高濃度接觸，可引起慢性支氣管炎、胃腸功能障礙及牙齒酸蝕癥。對(duì)接觸六氟化硫氣體各相關(guān)設(shè)備運(yùn)行、檢修及氣體試驗(yàn)工作人員在正式工作之前，首先要接受安全防護(hù)教育和有關(guān)培訓(xùn)。

     在新瓶?jī)?nèi)存放半年以上的六氟化硫氣體，使用前應(yīng)再次進(jìn)行抽檢，符合標(biāo)準(zhǔn)后方準(zhǔn)使用。  風(fēng)險(xiǎn)品專車運(yùn)輸，最 好是廠家直接送貨并有合格的押運(yùn)員，懂行的搬運(yùn)工，輕裝輕卸，瓶帽有必要配戴好，避免在轎車急剎車及裝卸過(guò)程中撞開瓶閥發(fā)生風(fēng)險(xiǎn)，特別是高純氫等易燃?xì)獾倪\(yùn)輸。

     要保證標(biāo)準(zhǔn)特種氣體的穩(wěn)定性，必須考慮氣瓶材質(zhì)對(duì)所配氣體的影響，不能對(duì)氣體產(chǎn)生吸附、氧化等,在有效期限內(nèi)量值必須穩(wěn)定可靠,標(biāo)準(zhǔn)氣的有效期一般為一年。特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、砷系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。

     按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。同時(shí)，以上分類存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時(shí)在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。