工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品。工業(yè)氣體在國家標(biāo)準(zhǔn)《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志》(GB13690-1992)中,通常被劃為第2類壓縮氣體和液化氣體。
標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性是一項十分重要的特征。雖然各種氣體具有較大的流動性和擴散能力,由于配制標(biāo)準(zhǔn)氣體時,幾種組分氣體先后充入高壓鋼瓶內(nèi),加之各組分氣的分子量之差異,結(jié)果使鋼瓶內(nèi)的氣體組分分布得不均勻,有的還可能產(chǎn)生分層現(xiàn)象。
在半導(dǎo)體、芯片、光伏太陽能、電子工業(yè)等高精尖領(lǐng)域,工業(yè)氣體被廣泛應(yīng)用,我們?nèi)粘J褂玫氖謾C,其主板和芯片的刻蝕成型就需要用到十幾種工業(yè)氣體。
校準(zhǔn)氣體的穩(wěn)定性也是一項十分重要的基本特征。標(biāo)準(zhǔn)氣的穩(wěn)定性包含兩個方面的內(nèi)容,即標(biāo)準(zhǔn)校正氣體分含量隨時間的變化和標(biāo)準(zhǔn)校正氣體組分含量隨壓力的變化。
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