精品中文日本在线观看_国产三级视频香蕉_国产a∨天天免费观看美女18_综合影院久久亚洲狠狠_播播热岛午夜电影理论_涩涩高清无乱码在线观看微信视频_91香蕉APP视频下载_亚洲国产中文精品不卡Av在线_成人av中文字幕_日本午夜免费福利啪啪

高純氣體可用于化學(xué)氣相沉積

2021-03-29 13:42:24

次

高純氣體

高純氣體氧氣用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積，作為氧化源和生產(chǎn)高純水的試劑，干氧化與四氟化碳混合用于等離子體蝕刻。應(yīng)注意安全，并應(yīng)做好防震，防火，耐熱和防油等工作。

高純氣體氧氣通常只需要氧氣純度，而對其他衛(wèi)生條件沒有特殊要求。同時，它還包含有害氣體，例如一氧化碳，甲烷，濕氣，細(xì)菌和灰塵。工業(yè)氧氣主要用于焊接和氣焊、氣割等。

高純氣體廠家在已經(jīng)使用的高純氣體保存方法有,在高壓容器內(nèi)壁鍍金,鎳等金屬;甩氟樹脂等塑料作涂料;將高壓容器內(nèi)壁拋光,預(yù)先充填較高濃度的一氧化氮或氧氣進行吸附平衡處理等方法。

對于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨立的供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

管路設(shè)計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風(fēng)險也越高，通常較合理的設(shè)計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設(shè)計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關(guān)，后者使用點的管徑一般為1/4”～3/8”。