特種氣體工業(yè)氣體是一種瓶裝壓縮液態(tài)氣體,在常溫常壓下呈氣態(tài),是工業(yè)的“血液”。隨著經(jīng)濟的快速發(fā)展,其作為國民經(jīng)濟基礎(chǔ)工業(yè)要素之一,在國民經(jīng)濟中的重要地位和作用日益凸顯,被廣泛應用于多個國民經(jīng)濟重要領(lǐng)域,包括冶金、化工、醫(yī)療、電子等多個行業(yè)。其中,冶金和化工對工業(yè)氣體的需求很高,分別占比29.5%和27.5%。
特種氣體行業(yè)發(fā)展前景指出,我國工業(yè)氣體行業(yè)在80年代末期已初具規(guī)模,到90年代后期發(fā)展迅速。2010年我國工業(yè)氣體市場規(guī)模達到410.38億元,比2005年的245.75億元增長了66.99%,在全球市場占比提高到10.62%。2013年,我國工業(yè)氣體銷售收入為745億元,同比增長了7.29%;2016年,我國工業(yè)氣體整體銷售規(guī)模達1000億元左右;2019年,我國工業(yè)氣體年產(chǎn)值約1200億元,發(fā)展速度每年在10%左右。特種氣體二氧化硫(化學式SO2)是最常見、最簡單、有刺激性的硫氧化物。大氣主要污染物之一?;鹕奖l(fā)時會噴出該氣體,在許多工業(yè)過程中也會產(chǎn)生二氧化硫。由于煤和石油通常都含有硫元素,因此燃燒時會生成二氧化硫。
當二氧化硫溶于水中,會形成亞硫酸。若把亞硫酸進一步在PM2.5存在的條件下氧化,便會迅速高效生成硫酸(酸雨的主要成分)。這就是對使用這些燃料作為能源的環(huán)境效果的擔心的原因之一。2017年10月27日,世界衛(wèi)生組織國際癌癥研究機構(gòu)公布的致癌物清單初步整理參考,二氧化硫在3類致癌物清單中。 電子行業(yè)常用的特氣超越三十余種,特種氣體按風險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。
特種氣體依照物理形態(tài)可分為緊縮氣體、液化氣體和低溫氣體。特種氣體的應用范疇主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯現(xiàn)器、光纖消費四大范疇。 特種氣體主要應用于半導體集成電路的消費制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。在集成電路制造應用方面詳細包括集成電路芯片制程、化學氣相堆積和氣體應用、刻蝕和氣體應用、摻雜和氣體應用。