使用標(biāo)準(zhǔn)氣體高壓凈化器及其技術(shù)的特點(diǎn)是凈化水平高、耐高壓、使用方便、投資少,同時(shí)該技術(shù)可以推廣應(yīng)用于超純氣體的生產(chǎn)制造,隨著我國半導(dǎo)體、光電技術(shù)的飛速發(fā)展,此類技術(shù)將有廣泛的市場(chǎng)空間。下面針對(duì)幾種典型的氣體終端凈化進(jìn)行簡(jiǎn)要的介紹。
標(biāo)準(zhǔn)氣體采用高效的脫氧催化劑,利用脫氧催化劑的氧化還原特點(diǎn),脫除N2中的痕量O2,脫氧在室溫下進(jìn)行,催化劑失活后通氫還原,還原溫度為350-450℃,其特點(diǎn)是有一定的水蒸汽排出。然后用大量的N2吹洗或抽空與通氮相結(jié)合的方式將H2吹凈。
經(jīng)過高壓脫氧器脫氧,產(chǎn)品瓶的氧含量可小于0.3PPM(V/V),該凈化器的特點(diǎn):耐高壓,非常適于氣體的配制;脫氧效果明顯,脫氧容量大,催化劑使用壽命長,我們實(shí)驗(yàn)室所用的高氮凈化器,已用5年,效果依然良好。
標(biāo)準(zhǔn)氣體凈化器內(nèi)充裝兩種耐低溫的多孔吸附劑,經(jīng)過良好的換熱設(shè)計(jì),在低溫條件下吸附,可有效將H2、He中雜質(zhì)除去,其純度可達(dá)99.9999%,由于條件十分的苛刻,操作者需要經(jīng)過嚴(yán)格的培訓(xùn)指導(dǎo),否則極易發(fā)生安全事故。采用此法凈化H2的技術(shù),也可以推廣為規(guī)?;疕2凈化裝置,該低溫法是高純H2生產(chǎn)的重要方法,因?yàn)樵摲椒捎行С2中的N2、CO、CH4等
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