電子行業(yè)常用的特氣超越三十余種，特種氣體按風(fēng)險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。依照物理形態(tài)可分為緊縮氣體、液化氣體和低溫氣體。特種氣體的應(yīng)用范疇主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯現(xiàn)器、光纖消費(fèi)四大范疇。 

   特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的對(duì)純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，隨著國(guó)防工業(yè)、科學(xué)研究、自動(dòng)化技術(shù)、精密檢測(cè)（特別是微電子技術(shù)）的發(fā)展.

    特種氣體主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的消費(fèi)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體，其中常用的有20~30種。在集成電路制造應(yīng)用方面詳細(xì)包括集成電路芯片制程、化學(xué)氣相堆積和氣體應(yīng)用、刻蝕和氣體應(yīng)用、摻雜和氣體應(yīng)用。

    對(duì)氣體剖析儀用氣體，如含氫10%,其他是氦的混合氣以及含甲烷5%或10%,其他是氬的混合氣，被用作氣相色譜儀的載氣；含氫40%,其他是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。